物竞编号 15CD
分子式 Si2H6
分子量 62.22
标签 Disilicoethane, Disilicon hexahydride, Silicoethane, disilicane, 电子用特种气体

编号系统

CAS号:1590-87-0

MDL号:MFCD00054678

EINECS号:216-466-5

RTECS号:暂无

BRN号:暂无

PubChem号:24869889

物性数据

1.       性状:无色透明液体

2.       密度(g/mL,15℃):0.686

3.       相对蒸汽密度(g/mL,空气=1):未确定

4.       熔点(ºC):-132.5

5.       沸点(ºC,常压):-14.5

6.       折射率:未确定

7.       闪点(ºC):未确定

8.       自燃点或引燃温度(ºC):未确定

9.       比旋光度(º): 未确定

10.    蒸气压(kPa,25ºC):未确定

11.    饱和蒸气压(kPa,60ºC):未确定

12.    燃烧热(KJ/mol):未确定

13.    临界温度(ºC):未确定

14.    临界压力(KPa):未确定

15.    油水(辛醇/水)分配系数的对数值:未确定

16.    爆炸上限(%,V/V):未确定

17.    爆炸下限(%,V/V):未确定

18.    溶解性:可与氢、氩、氮和氦以任意比例混合。

毒理学数据

微毒。

生态学数据

通常对水是不危害的,若无政府许可,勿将材料排入周围环境

分子结构数据

暂无

计算化学数据

1.疏水参数计算参考值(XlogP):无

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:0

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积0

7.重原子数量:2

8.表面电荷:0

9.复杂度:0

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

性质与稳定性

在常温常压下为无色透明气体,具有刺激性气味。d4-250.686,熔点-132.5℃,沸点-14.5℃,它具有与硅烷类似的化学性质,比硅烷不稳定,反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢,在光照下也可分解。在空气中自燃,浓度在0.2%以上时燃烧会发出火焰,浓度低于0.2%时,则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应,但如果是在低温,则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定,应更加小心。

 

 

贮存方法

参照140206电子级硅烷。

合成方法

1.采用硅烷原料气,经流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下,得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气,将混合气在不同的冷却条件下进行吸收,除掉杂质,可得高纯乙硅烷。

2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷,用液氮冷却回收,采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。

3.采用硅烷原料气,经质量流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下,生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气,混合气在不同的冷却条件下进行吸收,杂质被排出,可得高纯乙硅烷。

用途

1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。 在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。

2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。

安全信息

危险运输编码:UN 3161 2.1

危险品标志:易燃 有害

安全标识:S16 S24 S26 S36/S37/S39

危险标识:R17 R42 R20/21 R36/37/38

文献

暂无

备注

暂无

表征图谱